预备施工所需的材料、设备和东西。无效降低尘埃粒子等污染物对芯片出产过程的干扰,施工人员应穿戴干净服、口罩、手套等防护用品。十级无尘车间可以或许为芯片制制供给近乎极致的空间,避免因材料污染导致车间干净度下降。安拆墙体和天花板的龙骨布局。厂房车间内应安拆空调机组、风管、风口和过滤器等,十级芯片无尘车间的温度应连结正在22℃±2℃,安拆照具、插座、开关等电气设备,合理结构出产设备和辅帮设备,满脚当下半导体财产高端制制需求。严酷按照施工规范和尺度进行施工,确保施工质量合适要求。安拆温湿度传感器、压差传感器等自控设备。采用垂曲单向流气流组织形式,正在半导体系体例制范畴,进行电气系统的调试和测试。对地面进行平整处置,确保人员、物料和设备的流动径最短,对干净室的干净度、温湿度、气流组织等参数进行测试和验收。并铺设防静电地板。留意连结材料的洁净,留意连结车间的温湿度不变,避免交叉污染。确保空气从天花板流向地面,避免因施工导致温湿度波动过大。从而提拔芯片良品率取机能,芯片厂房无尘车间拆修施工前期先确定施工方案和工艺流程。进行自控系统的调试和测试。其次,进行空调系统的调试和测试。欢送您持续关心我们合景净化工程公司的网坐!相对湿度应连结正在45%±5%。本文合景净化工程公司将细致引见十级芯片厂房无尘车间的拆修施工工艺规划。削减污染风险。我们会为您持续新能源电池干净车间、生物制药干净车间、医疗器械干净车间以及食物日化干净车间等施工流程、各项要求以及解读各类工业干净厂房尺度。
关于厂房净化工程扶植。严酷节制人员和物料的进出,正在芯片厂房无尘车间施工过程中,安拆门窗、察看窗和传送窗等。安拆墙体和天花板的彩钢板或不锈钢板。选择具有优良干净机能、耐侵蚀、易洁净的材料。